Запорожец  Издания 

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 [ 39 ] 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119 120 121 122 123 124 125 126 127 128 129 130 131 132 133 134 135 136 137 138 139 140 141 142 143 144 145 146 147 148 149 150 151 152 153 154 155 156 157 158 159 160 161 162 163 164 165 166 167 168 169 170 171 172 173 174 175 176 177 178 179 180 181 182 183 184 185 186 187 188 189 190 191 192 193

Thppfn/ У7Г77гШТ-/:777ШУУ у/фру

(гЗО OMlhSadpar)

Зпитансиальиый п-слай

Дф/Ш7/ШУP77%hш?УУУ \Л пОм/ндадрат) f

Згтитансиальиый Л/ла-

РЛрЗложна.

I Ш7

- п-слай -

Ц-Ю liOM/hffaPpam)


р-палрясна ff


L

Эпитансиалмый п-стй {2-го НОм/.чаЗрагг:)

р - педлажна в

ЩУ улу.

7

xej-:

Злитаншальнми п-слсй.

ШЩУШШШ

р-П13лаж:/и2.

HoHHMpzuppSafJUbiu слой (Sap) {500-горО»/нЗаЗрат)


Тонная плелна ( Та, нихрем, ЪгЛги mS)


иУ: /у/м < у /у УШ

РремниеЗая лрЗлелгна

Рис. 2.49. Резисторы в интегральных схемах: а - ди44узионный резистор (базовая диффузия); б - эпитаксиальный резистор; а - эпитаксиальный пинч-резистор; г - диффузионный пинч-резистор (базовая диф>фузия); д - иоино-ле-

1ироваыный резистор; е - тонкопленочный резистор.



литографии. Статистические флуктуации ширины линии обычно лежат в пределах ±1 или ±2 мкм. Таким образом, при заданной ширине резистора 5 мкм обусловленный статистическими флук-туациями разброс сопротивлений, или стандартное отклонение,


Пантамтнае-

Изалирсанная адяашь п-типа I

I g 1

Рис. 2.50. Топология д.1ф<(!>зиоиного резистора в ИС: а-низкоомный резистор; б-несколько резисторов на одном изолированном участке п-типа.

Может достигать ±30 %. С увеличением ширины линии стандартное отклонение уменьшается, но когда ширина становится больше 25 мкм, стандартное отклонение перестает существенно изменяться и остается на уровне примерно ±5%, определяемом флуктуа-ииямн поверхностного сопротивления.

Однако с увеличением ширины резистора возрастает площадь, Занимаемая резистором на кристалле. Длина резистора опреде-ется выражением L = {R/Rs) W, следовательно, площадь, за-":!маемая резистором, пропорциональна W. В табл. 2.4 приведены Основные параметры различных типов резисторов в ИС.



Разброс отношений сопротивлений интегральных резисторов представляет собой статистическое отклонение отношения сопротивлений двух расположенных на одном кристалле однотипных резисторов от среднего, или центрального, проектного значения. Поскольку сравниваемые таким образом резисторы находятся на очень близком расстоянии друг от друга и прошли одну и ту же

ijnumaNcua./jiHaza п-слаж -Х-



А/еталлизация


/ р 1

р 1

it-\-

/Металлизация Рентаятная ллащаСяа

Рис. 2.51. Топология высокоомиого диффузионного резистора.

технологическую обработку, следует ожидать, что их параметры очень хорошо согласуются между собой. Поэтому разброс отношений обычно гораздо меньше разброса абсолютных значений сопротивлений. Так, для пары диффузионных резисторов р-типа одинакового номинала, т. е. с проектным отношением сопротивлений 1:1, разброс этого отношения при большой ширине резисторов (>-25 мкм) обычно лежит в пределах ±0,5 % Когда ширина резисторов уменьшается до 7 мкм, разброс отношений сопротивлений возрастает до ±2 %. С увеличением проектного отношения сопротивлений возрастает и разброс отношений: для резисторов большой ширины при отношении номиналов 1 : 1 разброс отношений составляет 0,5 %, а при отношении номиналов 5:1 - 1,5 % . Для получения низкоомных резисторов и перемычек можио



0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 [ 39 ] 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119 120 121 122 123 124 125 126 127 128 129 130 131 132 133 134 135 136 137 138 139 140 141 142 143 144 145 146 147 148 149 150 151 152 153 154 155 156 157 158 159 160 161 162 163 164 165 166 167 168 169 170 171 172 173 174 175 176 177 178 179 180 181 182 183 184 185 186 187 188 189 190 191 192 193