Запорожец  Издания 

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119 120 121 122 123 124 125 126 127 128 129 130 131 132 133 134 135 136 137 138 139 140 141 142 143 144 145 146 147 148 149 150 151 152 153 154 155 156 157 158 159 160 161 162 163 164 165 166 167 168 169 170 171 172 173 174 175 176 177 178 179 180 181 182 183 184 185 186 187 188 189 190 191 [ 192 ] 193

Оглавление

От редактора перевода....................... б

Предисловие ....................... 8

Глава 1. Технология изготовления интегральных схем........ И

1.1. Основные операции в технологии изготовления кремниевых при» боров............................ 11

1.2. Подготовка кремниевых пластин ............... И

1.3. Диффузия.......................... 18

1.4. Окисление.......................... 39

1.5. Фотолитография....................... 46

1 6, Химическое осаждение из газовой фазы............ 52

1.7. Нанесение металлизации................... 59

Задачи....... ................... 63

Литература ........................... 68

Глава 2. Интегральные схемы.................... 69

2.1. Характеристики рн-перехода ................ 69

2.2. Эпитаксиальная структура.................. 73

2.3. Технологический цикл изготовления планарного эпитаксиального диода......................... 77

2.4. Планарный эпитаксиальный транзистор ........... 78

2.5. Разделение пластин на кристаллы н присоединение кристалла к основанию........................

2.6. Технологический цикл изготовления полевого транзистора с />п-переходом.......................

2.7. Технологический цикл изготовления МОП-транзистора..... 83

2.8. Изоляция элементов ИС................... 91

2.9. Топология транзистора и его площадь............ 96

2 10. рлр-транзисторы....................... 98

2.11. Полевые транзисторы с ,с;л-переходом в интегральных схемах 101

2.12. МОП-транзисторы для ИС.................. 104

2.13. Комплементарные МОП-транзисторы............. 109

2.14. Диоды в интегральных схемах................ ИЗ

2.15. Резисторы в интегральных схемах.............. 121

2.16. Конденсаторы в интегральных схемах............ 131

2.17. Индуктивности в ИС..................... 134

2.18. Перемычки в ИС...................... J35

2.19. Методы создания диэлектрической изоляции.......... 36

2.20. Изопланарная технология и другие технологические варианты 141

2 21. Контактные площадки и поле кристалла........... ЦЗ

2.22. Размер кристалла и уровень сложности ИС ......... jo

2.23 Проблема отвода тепла................... ]49

Задачи ............................

Литература ...........................

80 81



Б82 Оглавление

Глава 3, Источники постоянного тока, напряжения и опорного напряжения ........................... 161

3.1. Источники постоянного тока................. 1С1

3.2. Источники напряжения.................... 193

3.3. Источники опорного напряжения, не зависящие от изменения температуры......................... 201

Задачи.............................. 224

Литература ........................... 240

Глава 4. Дифференциальные усилители................ 241

4.1. Дифференциальный усилитель на биполярных транзисторах. . , 241

4.2. Дифференциальные усилители на полевых транзисторах .... 258

4.3. Активная нагрузка..................... 264

4.4. Дифференциальный усилитель на составных транзисторах. . . 272

4.5. Дифференциальный усилитель с диапазоном входного напряжения, содержащим нулевой потенциал............. 274

4.6. Ось симметрии....................... 275

Задачи.............................. 278

Литература ........................... 281

Глава 5. Характеристики и применение ОУ ............. 282

5.1. Интегральные схемы .................... 282

5.2. Введение в теорию операционных усилителей......... 283

6.3. Анализ схем на основе ОУ с обратной связью с помощью уравнений узловых потенциалов........ ..... 288

5.4. Погрешность и стабильность коэффициента усиления..... 294

5.5. Частотная характеристика.................. 297

5.6. Переходная характеристика................. 301

5.7. Напряжение смещения ................... 303

5.8. Входной ток смещения ................... 307

5.9. Коэффициент усиления синфазного сигнала.......... 309

5.10. Входное сопротивление................ 312

5.11. Выходное сопротивление................... 314

5.12. Рассеиваемая мощность и ограничение по току........ 316

Б. 13. Влияние обратной связи на искажения ........... 318

5.14. Коэффициент ослабления нестабильности источника питания . , 320

$.15. Шумы.......... . . ..... 321

5.16. Термины и определения ... ........... 326

5.17. Сравнительный анализ характеристик реального и идеального операционного усилителя.................. 331

5.18. Устойчивость ОУ...................... 333

5.19. Применение ОУ....................... .350

5.20. Активные фильтры..................... 360

5.21. Фильтры с переключаемыми конденсаторами......... 375

Задачи.............................. 379

Литература.......................... . 412

Глава 6. Проектирование схем ОУ.................. 414

6.1. Анализ схем ОУ....................... 414

6.2. Примеры расчета схем ОУ.................. 422

6.3. ОУ на полевых транзисторах................. 443

6.4. ОУ Нортона......................... 4(2

6.5. Одиночные, сдвоенные и счетверенные ОУ........... 466

6.6. ОУ с улучшенными рабочими характеристиками........ 468

6.7. Буферы с единичным усилением ............... 470



Задачи.............................. 471

Литература ........................... 478

Глава 7. Компараторы напряжения.................. 479

7.1. Характеристики компаратора................. 481

7.2. Компараторы с положительной обратной связью........ 482

7.3. Схемотехника компаратора.................. 484

7.4. Время рассасывания объемного заряда транзистора ...... 490

7.5. Методы повышения быстродействия.............. 495

7.6. Коэффициент усиления КМОП-инвертора............ 511

7.7. КМОП - компаратор напряжения............... 512

Задачи.............................. 515

Литература ........................... 520

Глава 8. Интегральные схемы специального назначения........ 521

8.1. Стабилизаторы напряжения................. 521

8.2. Интегральные усилители мощности.............. 524

8.3. Видеоусилители....................... 526

8.4. Цифро-аналоговые преобразователи.............. 529

8.5. Аналого-цифровые преобразователи.............. 531

8.6. Балансный модулятор/демодулятор.............. 540

8.7. Генератор, управляемый напряжением............ 541

8.8. Фазовая автоподстройка частоты............... 541

8.9. Умножители, делители и функциональные генераторы..... 547

8.10. Температурные датчики на основе ИС . ,.......... 550

8.11. Интегральные датчики магнитного поля............ 550

8.12. ИС-датчики давления.................... 550

8.13. Аналоговые ключи ..................... 551

8.14. Схема выборки и хранения ................. 552

8.15. Приборы с переносом заряда ................ 552

8.16. Оптоэлектронные ИС..................... 555

8.17. Другие типы ИС специального назначения.......... 557

Литература ........................... 558

Приложения

A. Физические постоянные, коэффициенты преобразования, параметры 562 Б. Проводимости транзистора................... 562

B. Малосигнальные эквивалентные схемы транзистора....... 575

Предметный указатель....................... 579



0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 67 68 69 70 71 72 73 74 75 76 77 78 79 80 81 82 83 84 85 86 87 88 89 90 91 92 93 94 95 96 97 98 99 100 101 102 103 104 105 106 107 108 109 110 111 112 113 114 115 116 117 118 119 120 121 122 123 124 125 126 127 128 129 130 131 132 133 134 135 136 137 138 139 140 141 142 143 144 145 146 147 148 149 150 151 152 153 154 155 156 157 158 159 160 161 162 163 164 165 166 167 168 169 170 171 172 173 174 175 176 177 178 179 180 181 182 183 184 185 186 187 188 189 190 191 [ 192 ] 193